МОДЕЛИРОВАНИЕ И ЭКСТРАКЦИЯ ТЕМПЕРАТУРНЫХ КОЭФФИЦИЕНТОВ СОПРОТИВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НЕТЛИСТА ПАРАЗИТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
Abstract
Предложен способ экстракции сопротивления проводников, их температурных коэффициентов и геометрических размеров на основе модифицированного нетлиста паразитных элементов тестовых спецструктур в технологии интегральных схем. Сделаны выводы о критичности полноты моделей для точности экстракции и моделирования при проектировании ИС.