Sep 2026
ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ МЭМС Ni-МИКРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ С МОДИФИЦИРУЮЩИМ СЛОЕМ ИЗ MnOx
Проведено исследование МЭМС ИК-излучателей с эмиссионным слоем на основе оксида марганца (MnOx). Кристаллы ИК-излучателей с никелевой металлизацией были изготовлены на технологическом оборудовании для КМОП-процесса. Слои MnOx толщиной 120 мкм формировались локально в области нагревательного элемента методом осаждения...
А. М. Тарасов, Д. В. Горелов, А. В. Николаева et al.
· Nanoindustry Russia · 0 citations