ИССЛЕДОВАНИЕ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ИК-ИЗЛУЧАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ МЭМС Ni-МИКРОНАГРЕВАТЕЛЕЙ С МОДИФИЦИРУЮЩИМ СЛОЕМ ИЗ MnOx

Abstract

Проведено исследование МЭМС ИК-излучателей с эмиссионным слоем на основе оксида марганца (MnOx). Кристаллы ИК-излучателей с никелевой металлизацией были изготовлены на технологическом оборудовании для КМОП-процесса. Слои MnOx толщиной 120 мкм формировались локально в области нагревательного элемента методом осаждения из суспензии. Выполнена оценка характеристик ИК-излучателей до и после нанесения модифицирующего слоя, и приведено их сравнение по излучаемой мощности, времени теплового переходного процесса и спектрального профиля ИК-излучения. Наличие модифицирующего покрытия не приводит к изменению электрической мощности потребления и повышает равномерность нагрева. Однако большая толщина слоя в ~3 раза повысила полное время переходного процесса. Показано, что нанесение слоя MnOx приводит к смещению спектрального максимума излучения с ~7,5 до ~5,0 мкм и повышению интегральной мощности в диапазоне 1–10 мкм, что делает разработанный излучатель перспективным для недисперсионной инфракрасной газоаналитики.